görüntüleme ve kırınım tekniklerini birlikte kullanarak malzemelerin mikroyapısal incelemesini ve kristal yapılarının belirlenmesini sağlayabilen bir cihazdır. çalışma prensibi, yüksek enerjili elektronların çok ince bir örnek içinden geçirilip görüntülenmesine dayanır. Elektronların örnek ile etkileşimleri sonucu oluşan görüntü büyültülür ve floresans ekran, fotoğrafik film katmanı ya da CCD kamera gibi bir sensör üzerine odaklanır. bu mikroskop yardımı ile morfolojik analizler yapılabilir.